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支持實驗內(nèi)容：

（1）刻蝕設(shè)備的基本操作實驗

實驗?zāi)康模菏煜た涛g設(shè)備的開機、清洗、溫濕度、換氣、夾具固定、腐蝕液、腐蝕時間等基本操作流程及注意事項。

（2）多種刻蝕圖形的設(shè)計實驗

實驗?zāi)康模豪霉饪坦に囋O(shè)計好需要刻蝕的結(jié)構(gòu)圖形，通過刻蝕工藝制備各類型硅刻蝕結(jié)構(gòu)?；诠饪滔到y(tǒng)設(shè)計線條、形狀、倒角等圖形，通過刻蝕工藝了解各類硅孔結(jié)構(gòu)制備工藝。

（3）不同晶型對刻蝕圖形的影響實驗

實驗?zāi)康模和ㄟ^試驗不同晶型、不同襯底等參數(shù)，了解刻蝕工藝對刻蝕圖形的影響。

（4）不同介質(zhì)層對刻蝕工藝的影響實驗

實驗?zāi)康模和ㄟ^試驗光刻膠、介質(zhì)膜、厚度等參數(shù)，了解不同介質(zhì)層對刻蝕圖形的影響。

（5）不同環(huán)境參數(shù)對刻蝕工藝的影響實驗

實驗?zāi)康模和ㄟ^試驗不同溫度、濕度、時間等參數(shù)，了解不同環(huán)境參數(shù)對刻蝕圖形的影響。

（6）倒角結(jié)構(gòu)對刻蝕圖形的影響實驗

實驗?zāi)康模和ㄟ^設(shè)計三角、直角、異形等倒角結(jié)構(gòu)參數(shù)，了解倒角結(jié)構(gòu)對刻蝕圖形的影響。

刻蝕效果圖