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支持實驗內(nèi)容：

（1）芯片測試設(shè)備的基本操作實驗

實驗目的：熟悉芯片測試設(shè)備的開機、探針操控、氣體控制、涂覆等基本操作流程及注意事項。

（2）芯片金屬結(jié)構(gòu)的電學特性測試

實驗目的：通過操控探針微移動與芯片電極連接，利用萬用表測試芯片電極的電阻特性。

（3）氣敏敏感材料涂覆實驗

實驗目的：將氣敏材料與酒精混合指標粘附性氣敏材料，通過微操控工藝將氣敏材料涂覆至電極表面，通過燒結(jié)，研究氣敏材料與電極集成工藝。

（4）芯片氣敏效應測試實驗

實驗目的：通過控制氣流裝置向傳感芯片噴氣，通過測試電極結(jié)構(gòu)的電阻變化，測試芯片結(jié)構(gòu)的氣敏特性。

（5）燒結(jié)工藝對氣敏靈敏度的影響實驗

實驗目的：通過控制燒結(jié)溫度、時間等參數(shù)，測試芯片結(jié)構(gòu)氣敏特性變化，了解燒結(jié)工藝對芯片氣敏靈敏的影響。

（6）加熱溫度對氣敏靈敏度的影響實驗

實驗目的：通過控制微熱板的溫度、時間等參數(shù)，測試芯片結(jié)構(gòu)氣敏特性變化，了解加熱溫度對芯片氣敏靈敏的影響。

芯片封裝外觀